doorIrek Roslon
Micro Electro-Mechanical Systems
Sensoren zijn een belangrijk onderdeel in de regeltechniek. Productie van electro-mechanische systemen op microschaal biedt grote mogelijkheden. Deze technieken hebben allang hun intrede gedaan in het gebied van de mobiele telefonie, zoals bijvoorbeeld voor de gyroscoop van een smartphone. Verhogen van de betrouwbaarheid van deze systemen is een vereiste voor de productie van sensoren voor in de industrie.
Voorbeeld van een MEMS: een veer van aluminiumoxide die boven een silicium substraat hangt. Foto genomen met een electronen microscoop.